设备编号：

HAN'S DSI9199

产品特点：

1、衬底兼容性好；

2、小尺寸作业外观良率高；

3、采用更高功率激光器，应对厚片更从容；

4、全自动6寸片(包含4寸及2寸）生产，自动切换；

5、DRA自动实时跟随；

主要参数：

● 激光器1.0W@50KHZ;2.0W@100KHz（出光口）50~200KHz可设置

● X/Y直线工作台 行程：400X600mm/分辨率：X=0.5μm ;Y= 0.1 μm

● X/Y重复定位精度： ≤1μm/X直线度：1μm / 300mm

●测距仪分辨率：0.2μm

● 压电陶瓷电机响应：100Hz@500g

实际效果：

无崩边、崩角及裂到MESA的现象。 切线都在切割道中心，大小边7-12之μm间；

断面炸宽效果20-30μm，切深在正常范围内±5μm，正面直线度波浪纹小于3μm。