激光剥离机
适用于面板厂柔性OLED生产中将柔性显示模组与玻璃基板激光剥离的技术和成套设备，可满足国内企业的生产需求，同时也打破国内本行业的国际垄断。设备型号：
HAN’S DSI ELLOG6
设备特点：
1. 本设备准分子激光通过光路转换后，其最终 line beam可达到750*0.25mm，基本可以满足当今国内面板厂所有尺寸的产品需求，准分子激光对beam profile、均匀性和能量密度均有严格要求。
2. 设备采用刚性及稳定性优越的大理石结构，长行程运动机构采用国际先进的特殊装置取代了传统的线性导轨装置，可有效减小运动摩擦，避免粉尘颗粒的产生。
3. 密封性良好的Chamber，科学合理的气体管路设计，使得设备内部拥有较高的洁净度等级可确保产品良率。
设备参数：
● X轴行程1750mm
● Y轴行程2750mm
● Z轴行程50mm
● T轴定位精度0.2゜
● 速度0--400 mm/s
● 定位精度±0.005mm
● 重复定位精度±0.002mm
实际效果图：
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