
激光掺杂机
应用领域:适用于SE太阳电池和PERC太阳电池。
应用领域
适用于SE太阳电池和PERC太阳电池。
设备亮点
l532nm进口纳秒绿光激光器,稳定可靠;
l全新聚焦平顶能量分布光路传输系统设计,有效提高光路稳定性,最大限度降低硅基损伤;
l方形光斑,80~140um可调,激光图形畸变<±15µm;
l电池转换效率提升0.2%以上(与各家设备及工艺路线相关)
l多轨独立工作,互不干扰,产能选择:可定制,最大产能≧11000uph;
l可加工电池片尺寸:155mm×155mm~167mm×167mm;
l高精度视觉定位,并具备来料NG检测和加工后mark间距检测功能(可选);
l两侧/同侧上下料盒方式可选,可对接AGV小车;
l高速柔性机构传输,碎片率低于0.03%;
l独立除尘过滤装置,除尘效率大于95%,粉尘过滤效率大于99%;
l具备MES信息化接口;
l兼容现有产线,易于升级,可靠性高。
实际效果