示例机型：

DSI-N-ALCOW（COW）/ DSI-N-ALCOT（COT）

应用领域Application:

应用于LED晶圆生产领域。设备主要用于对裂片前后的晶粒进行外观缺陷检测。采用先进的组合光源打光技术和高速高分辨率相机，可以清楚的识别晶粒的外观瑕疵以及晶粒排列。

It is applied in the field of LED wafer production. The equipment is used to detect the appearance defects of the grains before and after the crack. By using advanced combined light and using the high-speed and high-resolution camera, the appearance defects and grain arrangement can be clearly identified.

主要特点Main Features:

●高速检测，检测效果行业领先；

High speed detection with industry-leading detect effect；

●数据化，产品信息记录上传，有助于生产管控；

Data recording and uploading. Product data upload is is conducive to production control;

●特制组合光源，保证检测效果与稳定；

Special custom combined light ensures the detection effect and stability；

●全自动兼容4寸、6寸片生产.

Automatic production, compatible with 4 & 6 inch wafer.

主要参数Main Parameters:

检测良率	99.7%
线宽量测能力（COW）	±0.3微米
CD两侧能力（COW）	±0.3微米
瑕疵检出能力	主检相机> 3μm 副检相机> 0.4μm（COW机台有副检相机）
良率稳定性/重复性（单片重扫10次）	<±0.2%（单片重扫10次）
兼容产品尺寸（wafer size）	4寸/6寸（胶环/铁环）
长×宽×高(L × W × H)	1880mm×1300mm×2600mm

实例效果Sample Effect: